top of page
FORCLEAN

Институт физики полупроводников СО РАН получил госсубсидию - 113 млн

Субсидию в размере 113,5 млн руб. выделили на обновление приборной базы. В институте знают, куда потратить эти средства, как сообщает пресс-служба института, самой дорогой покупкой станет установка для производства жидкого азота с системой автоподачи. Жидкий азот в институте используют при создании полупроводниковых структур методом молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ).


Также в списке - закупка атомно-силового и сканирующего электронного микроскопа, 3D профилометра — конфокального микроскопа для высокоточного измерения профиля поверхности, шероховатости поверхности и пленок, трехканальной системы СДОМ 3/100-2М предназначенной для термической обработки полупроводниковых пластин. 3D-профиломер планируется задействовать в новой молодежной лаборатории физико-технологических основ создания фотоприёмных устройств на основе полупроводников A3B5. Кроме того, лаборатории нужна установка для резки (скрайбирования) полупроводниковых пластин, благодаря гранту появилась возможность купить и ее. Атомно-силовой и сканирующий электронные микроскопы предназначаются для лаборатории физики и технологии трехмерных наноструктур. Эти приборы хорошо дополняют друг друга — первый позволяет точно определять высоту рельефа наноструктуры, а второй — измерять латеральные параметры (длину, ширину, расстояние между отдельными элементами наноструктуры). Установка термической обработки полупроводниковых пластин необходима для создания полупроводниковых материалов на основе кремния, она используется при проведении технологических процессов диффузии, окисления и отжига в потоке рабочих газов. Примерно половина закупаемого оборудования - российского производства, в частности, атомно-силовой микроскоп - изделие российской компании NT MDT Spectrum Instruments. Субсидия выделена в рамках федерального проекта "Развитие инфраструктуры для научных исследований и подготовки кадров" национального проекта "Наука и университеты".

Связаться с нами можно: -по телефонам: +7 (831) 262-19-71 (доб.200), +7 (495) 120-57-63 -по почте: info@forcleanrussia.ru -на сайте: forclean.tech #forclean #форклин #ооофорклин #чистыепомещения #производствочистыхпомещений #производствоконструкцийчистыхпомещений

Comments


bottom of page